Reinraumtechnik ist ein Technikgebiet, das sich dem Schutz bestimmter Arbeitsbereiche vor unerwünschten äußeren Einflüssen widmet. Seit Ende der 50-iger Jahre wird die Reinraumtechnik über firmeninterne Entwicklungen hinaus als eigenständige Technik betrieben. Den Anstoß gab die Weltraumtechnik mit ihren Forderungen nach Miniaturisierung von Bauelementen bei gleichzeitig höchsten Anforderungen an die Funktionssicherheit der Systeme.
Verunreinigungen, die bei Arbeitsvorgängen zur Zerstörung bzw. Unbrauchbarkeit des Endprodukts bzw. zur Beeinträchtigung der am Arbeitsprozeß beteiligten Personen führen können, sind neben gas- bzw. dampfförmigen Komponenten feste oder flüssige Partikel unterschiedlicher Größe, die sich auf festen Oberflächen absetzen oder in Fluide eindringen.