![]()
Reinraumtechnik
ist ein Technikgebiet, das sich dem Schutz bestimmter Arbeitsbereiche vor unerwünschten
äußeren Einflüssen widmet. Seit
Ende der 50-iger Jahre wird die Reinraumtechnik über firmeninterne Entwicklungen
hinaus als eigenständige Technik betrieben. Den
Anstoß gab die Weltraumtechnik mit ihren Forderungen nach Miniaturisierung
von Bauelementen bei gleichzeitig höchsten Anforderungen an die Funktionssicherheit
der Systeme.
Verunreinigungen, die bei Arbeitsvorgängen
zur Zerstörung bzw. Unbrauchbarkeit des Endprodukts bzw. zur Beeinträchtigung
der am Arbeitsprozeß beteiligten Personen führen können, sind
neben gas- bzw. dampfförmigen Komponenten
feste oder flüssige Partikel unterschiedlicher Größe, die sich
auf festen Oberflächen absetzen oder in Fluide eindringen.